特許:日本、米国ほか海外
口 径 15-250mm全揚程 10-90m吐出量 0.001-8m3/min
UENC 型
ステンレス鋳鋼製 ご定評の脱脂、禁油処理
UEC 型
ステンレス鋼材製 全面旋削、電解研磨
UTC 型
ステンレス鋼材製 全面旋削、電解研磨(高揚程カスケード型)
非接触の軸封装置 (特許)
軸封装置の回転環と固定環は、ポンプ停止中でも運転中でも非接触で、適切な滑動面間隙を保持し、所定の漏れ量を発生して摺動発塵、並びにポンプ内への不純物の混入を許しません。
漏れ量の容易な管理
滑動面間隙は、アジャスティングユニットで停止中は勿論、運転中でも、外部から容易に調整することができ、適正な漏れ量を確保できます。
クリーン化処理技術
超音波洗浄、酸洗(エッチング)、不働態化処理等、各工程における徹底した品質管理と蓄積してきたノウハウで、低コストで高クリーン度を達成しています。サニタリー仕様も可能です。
超々LSl 対応(UEC、UTC 型)
超純水接液部は全面旋削し、電解研磨を施して、クリーン度を更に向上させた超々 LSI 対応型のウルトラクリーンポンプです。
無発塵の軸封構造(特許)
軸封装置の回転環と固定環は、ポンプ停止中でも運転中でも非接触で、適切な滑動面間隙を保持し、所定の漏れ量を発生して摺動発塵、並びにポンプ内への不純物の混入を許しません。滑動面間隙は、アジャスティングユニットで停止中は勿論、運転中でも、外部から容易に調整することができ、適正な漏れ量を確保できます。
超純水製造ライン用クリーンポンプ
クリーンルーム用ウルトラクリーンポンプ
食品・飲料製造用サニタリーポンプ
医薬品製造用サニタリーポンプ
高純度ケミカルポンプ
その他