クリーンポンプ


クリーンポンプ
UENC、UEC、UTC 型
(PAT.)

非接触の軸封で摺動発塵が皆無

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クリーンポンプ

クリーンポンプ

特許:日本、米国ほか海外

口 径 15-250mm
全揚程 10-90m
吐出量 0.001-8m3/min


超純水製造、薬品製造等での高純度液質を維持する極めてクリーンなポンプです。

UENC 型

ステンレス鋳鋼製 ご定評の脱脂、禁油処理

UEC 型

ステンレス鋼材製 全面旋削、電解研磨

UTC 型

ステンレス鋼材製 全面旋削、電解研磨(高揚程カスケード型)


非接触の軸封装置 (特許)

軸封装置の回転環と固定環は、ポンプ停止中でも運転中でも非接触で、適切な滑動面間隙を保持し、所定の漏れ量を発生して摺動発塵、並びにポンプ内への不純物の混入を許しません。

漏れ量の容易な管理

滑動面間隙は、アジャスティングユニットで停止中は勿論、運転中でも、外部から容易に調整することができ、適正な漏れ量を確保できます。

クリーン化処理技術

超音波洗浄、酸洗(エッチング)、不働態化処理等、各工程における徹底した品質管理と蓄積してきたノウハウで、低コストで高クリーン度を達成しています。サニタリー仕様も可能です。

超々LSl 対応(UEC、UTC 型)

超純水接液部は全面旋削し、電解研磨を施して、クリーン度を更に向上させた超々 LSI 対応型のウルトラクリーンポンプです。



無発塵の軸封構造(特許)


軸封装置の回転環と固定環は、ポンプ停止中でも運転中でも非接触で、適切な滑動面間隙を保持し、所定の漏れ量を発生して摺動発塵、並びにポンプ内への不純物の混入を許しません。

滑動面間隙は、アジャスティングユニットで停止中は勿論、運転中でも、外部から容易に調整することができ、適正な漏れ量を確保できます。



クリーンポンプ パーティクル


用途

超純水製造ライン用クリーンポンプ

クリーンルーム用ウルトラクリーンポンプ

食品・飲料製造用サニタリーポンプ

医薬品製造用サニタリーポンプ

高純度ケミカルポンプ

その他



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選定・外寸図
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株式会社 横田製作所 Tel : 082-241-8675 E-mail : yokota@aquadevice.com